光刻機用低溫冷水機組操作者可對設(shè)備運行過程中的相關(guān)故障以及解決辦法做一定的了解，以便更好的使用光刻機用低溫冷水機組，那么其故障原因是怎么樣的呢？

　　1、制冷劑泄漏：

　　系統(tǒng)中制冷劑泄漏后制冷量不足，吸、排氣壓力低，蒸發(fā)器不掛霜或掛角少量的浮霜，若調(diào)大膨脹閥孔，吸氣壓力仍無大變化，停機后系統(tǒng)內(nèi)平衡壓力一般低于相同環(huán)境溫度所對應的飽和壓力。

　　排除方法：制冷劑泄漏后不能急于向系統(tǒng)內(nèi)充灌制冷劑，而應立即查找滲漏點，經(jīng)修復后在填充制冷劑。

　　2、維修后充灌制冷劑過多：

　　維修后的制冷系統(tǒng)中充灌的制冷劑量超過系統(tǒng)的容量，制冷劑就會占去冷凝器一定的容積，減少散熱面積，使其制冷效果下降，出現(xiàn)吸、排氣壓力普遍高于正常的壓力值，蒸發(fā)器結(jié)霜不實，光刻機用低溫冷水機組降溫慢。

　　排除方法：按操作程序，須停機幾分鐘后在高壓截止閥處放出多余的制冷劑，此時也能將系統(tǒng)中的殘余空氣一并放出。

　　3、制冷系統(tǒng)內(nèi)有空氣：

　　空氣在制冷系統(tǒng)中會使制冷效率降低，突出的現(xiàn)象時吸、排氣壓力升高（但排氣壓力還未超出額定值），壓縮機出口至冷凝器處溫度明顯增高，由于系統(tǒng)內(nèi)有空氣，排氣壓力、排氣溫度都升高。

　　排除方法：可以在停機后幾分鐘后，連續(xù)幾次從高壓截止閥放出空氣，還可以根據(jù)實際情況適當充灌一些制冷劑。

　　4、蒸發(fā)器表面結(jié)霜過厚：

　　長期使用的冷庫蒸發(fā)器要定時化霜，如不化霜，蒸發(fā)器管路上霜層越積越厚，當把整個管路包住成透明冰層時，將嚴重影響傳熱，致使光刻機用低溫冷水機組溫度降不到要求的范圍內(nèi)。

　　排除方法：停機化霜，切勿用鐵器、木棒等敲擊霜層，以防損壞蒸發(fā)器管路。

　　5、蒸發(fā)器管路中有冷凍油：

　　在制冷循環(huán)過程中，有些冷凍油殘留在蒸發(fā)器管路內(nèi)，經(jīng)過較長時間的使用，蒸發(fā)器內(nèi)殘留油較多時，會嚴重影響其傳熱效果，出現(xiàn)制冷差的現(xiàn)象。

　　排除方法：清除蒸發(fā)器內(nèi)的冷凍油。將蒸發(fā)器拆下來，進行吹洗后再烘干。

　　光刻機用低溫冷水機組在發(fā)生液擊故障之后，操作者或者使用人如不能及時解決，請聯(lián)系廠家進行解決。